1965年,制造商希望冈野⌒先生为频率计数器设备开发一款具有极高频率可靠性的紧凑型贴片晶振,石英振荡器.在那些日子里,有线和无线通信设备的需求正在扩大.因此,这种设备的性能正在提高,并且需要精度极高的频率计数器设备.

尽管∩满足美国测量仪器制造商要求的石英晶体振⌒荡器已经存在,但当时日本并没有开发制造出属于自己的高频紧凑型贴片晶振,石英晶体振荡器.因此冈野先生决定接受国内测量仪器制造商提出的挑战,并决心为日本Ψ 市场创造出石英晶体振荡器.

当然这不是一件顺利的事情,因为仪器制造商要求频率稳定度在▃十亿分之一（1 ppb或10-9）的水平.无论其频率稳定性∞有多高,单独↓使用石英作为材料都不可能实现这一目标.他们能够接近这一目标的唯一方法就是再次采用恒温烤箱.他们已经知道,如果将石英晶振晶体单元置于烘箱中并将周围温度保持在可控的恒定值,他们就可以实现具有极高∞频率稳定性的紧凑型♀石英晶体振荡器.

他们首先开发他们需要使用的石英晶振,贴片晶振,石英晶体单元.他们的目标是生产一个可以安装在HC-6/U包装中的设备（图4）.为了配合,石英衬底需要具有大约15mm或更小的直径.然而,为广播网络制造的前述晶体单元的直径为25mm.这个大小问题是另一个需要解决的问题.

Okano先生决定他需要尝试一种新的方法.为了创造一个紧凑,稳定的1MHz振荡器,他决定首先增加晶体振荡器的频率.如果他能使频率更高,那么他应该能够使直径成比例地↙变小.他制Ψ造了一个1.33MHz的晶体单元,并产生了一个等于三倍波长【（第三泛音）的4MHz信号.然后,他使用触发器（F/F）电路将频率分成1/4,从而实现1MHz的频率.

图4 HC-6 /U封装 外部尺寸：20mm x 19mm x 9mm.里面放置〖一个圆形的石英基板.

这些努力最终使他们能够获得直径为14mm的石英衬底,可以安装在HC-6/U封装内.最后要解决的问题是恒温烤箱,他们仍然不确◣定如何开发.他们必须＠ 检查并决定各个方面的内容,例如烤箱的形状,要使用的材料以及热敏电阻的位置.使用冷焊技术在含有石英晶体单元的HC-6/U封装内部形成真空并将其密封.然后将包装放入镂空的铝块内,然后将加热线缠绕在其周围.

下一个,重现性和时间变化◣特征都非常好.测量仪器制造商根据是否在1小时,1天和10天过后观ω察到频率发生了任何变化,准备了重现性标准的详细值.他们开发的石英晶体振荡器成功通过了这些值的测试（图5）,仪器制∞造商的工程师们完全惊讶.

这些由恒温控制的晶体振荡器（OCXO晶振）于1968年在市场上推出,因此其他同行也相继模仿,想要生产制造同样的有源晶振,晶体振荡器产◆品.但是这些竞争对手ω　没有仔细专研创造,所以他们所生产的振荡器无法达到频率稳定性,可重复性或时间变化特征的相同水平.冈野先生通过自身的努力,一步一个阶段努力研发创造,克服困难,解决问题,所积累的经验以及技术知识是无法被模仿的.

图5开启OCXO 后的频率特性在烤箱控制的晶体振荡器（OCXO晶振）接通后,只允许极小的频率变化.

创造'振荡区域'的概念

AT切晶体单元和恒温控制的石↙英晶体振荡器（OCXO晶振）成为冈野先生最伟大的胜利之一.虽然普通人可能会」认为这种不起眼的创新看起来无关紧【要,但可以毫不夸张地说,这些技术已经奠定了当今石英设备技术的基石,并且是非常重要的.

通过∑　他的经验和知识,他获得了开发双凸和平凸等凸面技术的晶体单元和其他设备,Okano先生成功█地建立了“晶体振︽荡区域”的概念.这一概念已成为当前技术的基石,并已应用于各种不同的晶振晶体器件.具体而言,这些技『术包括“陷阱模式”,其由于安装在石英衬底上的金属电极的质量效应而陷入振荡; “台面结构”,它利用光刻技术将▆振荡封装在石英基板的厚中心部分,该基板已在其外表面周围进行了刮削; 和“倒置台面结构”,其通过仅稀释石英基板的中心部分而实现更高的①频率.

此外,“晶体振荡区域”的概念导致ω了改进的技术,使得晶体器件更加紧凑,并且提高了制造时平坦度和平行平坦度重要性的意识.换句话说,这个概念成为了东洋通信设备公司和精工爱普生晶振公司整合后诞生“QMEMS”技术的基础.